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입력 1998년 3월 16일 19시 38분
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윤교수는 “그동안 개발된 비휘발성 반도체 기억소자 기술은 증착온도가 섭씨 7백50도에 달해 실용화가 어려웠다”면서 “플라즈마를 이용해 증착온도를 5백50도로 낮추는데 성공해 이 소자의 산업화를 앞당기게 됐다”고 밝혔다.
윤교수는 “새로 개발된 비휘발성 기억소자는 기존 개발품에 비해 수명(전원을 껐다 켰다하는 회수)이 1천∼1만배에 달하는 것으로 입증됐다”면서 “소자 박막의 증착온도를 5백50도 수준으로 낮춘 것은 세계 처음”이라고 말했다.
〈최수묵기자〉