국내 기술력으로 반도체 초음파 자동화 검사 장비 상용화

[강소기업이 미래다] ㈜엠아이티

경기 시흥시에 위치한 엠아이티 본사 로비 전경.

반도체 검사는 반도체 제조 공정의 핵심 과정 중 하나다. 반도체의 미세한 크랙은 기능 검사에서는 문제가 생기지 않지만 반도체가 자동차, 항공우주 환경에서 변화를 겪으며 차후 불량의 원인이 될 수 있다. 그만큼 반도체 칩, 패키지 또는 웨이퍼의 품질 식별 작업은 고도의 자동화와 정밀화를 요구한다. ㈜엠아이티는 국내 최초로 초음파를 이용한 반도체 전후 공정 자동화 검사 장비를 상용화해 국내외 주요 대기업에 공급하는 강소기업이다.

엠아이티는 반도체 웨이퍼 내층 결함 검출용 초음파 자동화 검사 장비 개발 및 상용화를 주력으로 하고 있다. 회사가 개발한 반도체 초음파 자동화 검사 장비는 반도체 웨이퍼 내층에 대한 접합면의 내부 보이드, 크랙, 박리 등의 결함을 전수 검사할 수 있는 비파괴 방식 장비다. 초음파 검사 방식은 종래 엑스레이 방식의 단점인 공기층 관련 불량 검출력이 탁월하다. 특히 엠아이티의 초음파 자동화 검사 장비는 기존 수동식 초음파 검사 장비에 비해 전수 검사가 가능해 99% 이상의 검출률로 검사 효율성이 높다.

반도체 웨이퍼용 초음파 자동화 검사 장비.

엠아이티의 차별적인 기술력인 ‘워터 홀더(댐) 융합을 통한 워터폴 방식 구현’ 기술은 웨이퍼 기판 위에 물과 함께 초음파가 입사하는 방식으로 고속 스캔 및 고품위 영상 획득이 가능하다. 또한 두 개의 초음파 프로브를 탑재한 ‘듀얼 프리퀀시 스캐닝을 통한 멀티 레이어 검사’는 엠아이티만의 독자적인 기술로 웨이퍼 기판 접합면의 결함에 대한 검출 효율성이 우수한 특허등록 기술이다. 엠아이티는 국산 기술력으로 초음파 검사 장비 개발에 성공해 그동안 외국계 장비 대기업이 반도체 분야에서 독점해 온 수입산 장비 대체에 기여하고 있다. 또 표준이 규격화돼 커스터마이징이 어려운 외산 장비와 달리 국내 고객사의 니즈에 맞게 맞춤 제작이 가능하다는 점도 높게 평가받는다.

최종명 대표

엠아이티는 현재 초음파 관련 핵심 특허 44건을 출원해 28건을 등록했고 이노비즈(혁신 기업) 인증을 확보했다. 2017년 설립과 동시에 기업부설연구소를 등록하고 현재 중소벤처기업부, 산업통상자원부 주관의 국책 과제 7건을 수주하는 등 전문 연구개발 인력과 국가 R&D 과제 수행에도 활발히 참여 중이다. 2022년에는 64억 원의 매출을 달성했으며 매출 증가율은 16.5%로 성장세를 이어가고 있다.

현재 엠아이티는 전력 반도체 및 DCB 기판용 초음파 자동화 검사 장비의 개발을 완료하고 국내 굴지의 대기업에 납품하고 있다. 전력 반도체는 전력이 필요한 곳에 필수적으로 활용되는 부품으로 자동차, 신재생에너지, 5G 이동통신망 등 산업 핵심 기술로 발전할 것으로 예상돼 향후 높은 시장성을 기대하고 있다.

최종명 엠아이티 대표는 “올해 하반기 IPO 준비에 들어갈 방침이며 첨단 반도체 분야의 품질 및 생산성 확보로 반도체 산업 발전에 기여할 것”이라고 포부를 밝혔다.

박윤정 기자 ongoh@donga.com