현대전자, 반도체용 新 감광제 양산화 성공

현대전자(대표이사 박종섭 www.hei.co.kr)는 반도체 회로선폭 기술의 한계로 인식되고 있는 0.10미크론보다 더 미세한 0.09미크론(1미크론=1백만분의 1 미터)의 초미세 회로선폭 공정을 가능케하는 새로운 감광제(ArF PR : 아르곤 플로라이드 포토레지스트)의 양산화에 성공했다고 12일 밝혔다.

이번 양산화에 성공한 아르곤 플로라이드 감광제는 반도체 제조공정의 핵심기술인 사진공정의 회로형성에 사용되는 물질이다. 지난 '97년 7월에 현대전자가 발표한 0.13미크론급 아르곤 플로라이드 감광제를 국내 반도체 재료 전문 업체인 동진쎄미켐㈜과 공동으로 그 특성을 획기적으로 개량시킨 고분자 재료다.

현대전자의 이번 감광제는 1리터당 3백만원 정도의 초 고가품이다. 이 감광제를 이용한 반도체 제품의 양산시 막대한 로열티 수입이 예상된다고 현대전자는 밝혔다.

신일섭<동아닷컴 기자>sis04@donga.com