삼성전자 박재근박사, 반도체기술 특허 공로 회사서 포상

입력 1998-05-09 06:55수정 2009-09-25 13:56
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삼성전자 기흥 반도체공장의 박재근(朴在勤·39)박사가 회사가 주는 특허포상에서 현금 1억원을 특별포상금으로 받아 화제.

반도체 제조용 실리콘 웨이퍼의 표면결함을 없애는 노하우를 개발해 특허를 따낸 공로. 그동안 웨이퍼를 구울 때 실리콘이 빠져나가면서 생기는 0.1∼0.2미크론 크기의 미세한 구멍 때문에 반도체 수율이 크게 떨어져 이를 없애는데 재료비가 30∼40% 더 들었다는 것.

삼성전자는 이 기술로 매달 2천만달러씩의 원가절감은 물론 일본 웨이퍼 제조업체에 특허를 이전해줘 1천만달러의 로열티도 챙기게 됐다.

이번에 받은 포상금은 삼성그룹이 매년 시행하는 기술대상의 상금이 1천만원인 것에 비하면 파격적인 액수. 박박사와 같은 팀인 연구원 3명도 4천만원의 상금을 받았다.

〈홍석민기자〉


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