그래핀 기반 EUV 공정 필수품 ‘펠리클’ 개발

㈜그래핀랩

그래핀은 탄소 원자들이 벌집격자 모양으로 2차원 평면구조로 된 신소재다.

그래핀은 흑연을 원료로 한 소재로 강하면서도 유연하고, 열전도성이 좋아 ‘꿈의 신소재’로 불린다. 그래핀은 합성 방법에 따라 ‘CVD 그래핀’과 ‘플레이크 그래핀’ 등 두 가지로 생산이 가능하지만 CVD 그래핀의 경우에는 기술 장벽이 매우 높다. 2018년 1월 시작한 ㈜그래핀랩의 도전이 관심을 받는 이유다.

그래핀랩은 세계 최대 크기의 화학기상증착법(CVD) 기반 그래핀을 제조해 전 세계로 공급망을 확대하고 있다. 또 일본 수출 규제로 인한 수급 불안정에 대응하기 위해 그래핀 제조를 위한 필수적인 소재·부품·장비의 국산화에도 앞장서고 있다. 또 ‘그래핀을 이용한 발열 장치’ ‘그래핀을 이용한 레이다 커버 관리 장치’ 등 다수의 특허를 출원해 다양한 분야에서 그래핀을 활용할 수 있도록 지식재산권 확보에도 공을 들이고 있다.

CVD 기술을 이용한 그래핀 제조생산 공장과 설비, 관련 분야 기술진을 보유한 그래핀랩은 올 4월 영국 최대 규모 플레이크 그래핀 생산기업인 ‘버자리언 Plc’에 약 30억 원 규모의 전략적 투자를 진행했다. 이를 통해 그래핀랩은 CVD 그래핀과 플레이크 그래핀 소재원료를 동시에 양산하는 기업으로 자리매김했다.

또 한국전자기술연구원(KETI)과 ‘저온 직성장 그래핀의 제조 핵심 공정 기술개발’을 위한 기술이전 계약을 체결했다. 극자외선(EUV) 노광공정용 펠리클 부품의 국산화를 위해서다. 그래핀랩은 이번 기술이전을 시작으로 KETI와 펠리클 부품 국산화를 위한 그래핀 초박막 성장기술 분야의 공동 연구, 그래핀 관련 신기술 공동 연구·인력 교류 등에 협력해 나갈 계획이다.

권용덕 ㈜그래핀랩 대표

그래핀랩 권용덕 대표는 “그래핀 기반 펠리클 초박막 성장기술에 대한 기술이전 계약을 통해 기술 경쟁력을 한층 더 강화할 것”이라며 “양질의 펠리클용 원소재 개발과 양산화를 위해 노력하겠다”고 했다.

그래핀랩은 기술 특례를 통한 코스닥 상장을 목표로 DB금융투자를 상장 주관사로 선정해 제반 절차를 진행 중이며 코스닥 상장에 필요한 기술성 평가를 거칠 방침이다. 권 대표는 “그래핀 활용 애플리케이션 사업을 선도하는 기업으로 국내 코스닥 시장에서의 성공적인 상장 후 이를 발판 삼아 내후년에는 영국 AIM 상장에 이어 미국 나스닥 상장도 추진할 계획”이라고 강조했다.


조선희 기자 hee3110@donga.com