건물만 한 시설서 만들던 극자외선 레이저, 노트북만 한 장치서 생성 성공

차세대 반도체 제조 공정에 사용되는 레이저를 소규모 시설에서 값싸게 만드는 기술을 국내 연구진이 개발했다.

KAIST 기계공학과 김승우(사진) 교수팀은 의학 연구와 차세대 반도체 제조 공정에 사용되는 극자외선 레이저 광원을 노트북컴퓨터만 한 장비로 만드는 기술을 개발했다고 4일 밝혔다.

영국의 과학학술지 ‘네이처’는 5일 이 기술을 주요 연구로 소개됐다. 초집적 전자회로를 만들 때 사용되는 극자외선 레이저는 지금까지 가속기 같은 대규모 시설에서 만들 수 있었다.

극자외선 레이저의 개념은 오래전부터 알려졌지만 이를 실제 산업 현장에서 활용할 수 있는 크기로 만든 것은 김 교수팀이 처음이다.

김 교수는 “큰 건물만 한 규모의 연구시설에서 만들던 극자외선 레이저를 노트북 크기 장치에서 간단히 구현할 수 있음을 보여준 첫 사례”라며 “이 기술이 다방면에서 활용될 가능성을 높였다”고 말했다.

박근태 동아사이언스 기자 kunta@donga.com