네덜란드 출장 마치고 귀국한 이재용 “반도체가 거의 90%”

윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문 동행을 마치고 귀국한 이재용 삼성전자 회장이 “반도체가 거의 90%였죠”라고 말했다.

이 회장은 15일 오전 서울 강서구 서울김포비즈니스항공센터로 귀국한 후 출장 소회를 묻는 취재진 질문에 이같이 답했다.

이 회장과 함께 귀국한 경계현 삼성전자 사장은 이번 협약에 대해 “동탄에 공동 연구소를 짓고 하이 NA EUV(극자외선) 노광장비를 들여와 ASML 엔지니어와 삼성의 엔지니어가 함께 기술 개발을 하는 게 주목적”이라며 “이를 통해 하이 NA EUV에 대한 기술적 우선권을 삼성전자가 갖게 될 것 같다”고 설명했다.

앞서 삼성전자와 네덜란드 반도체 장비 업체인 내년부터 총 1조원을 투입해 차세대 반도체 제조 기술을 연구하는 센터(R&D)를 설립하고, 공동으로 운영하는 내용의 MOU(양해각서)를 체결했다.

ASML과 삼성전자가 공동 설립하는 R&D센터는 차세대 EUV(노광장비)를 기반으로 초미세 제조 공정을 개발하는 기능을 맡는다. 노광장비는 반도체 웨이퍼(원판)에 회로를 새기는 장비로, 얼마나 세밀하게 그릴 수 있는지가 핵심 경쟁력이다. ASML는 현재 초미세 공정 장비 분야에서 가장 독보적인 입지를 갖고 있다.

[서울=뉴시스]