SK하닉 청주공장 가스룸 화재로 불소 누출… 3600여명 대피

11명 병원 이송… 10여분만에 진화
대피한 직원들 90여분만에 복귀
“설비 정상 가동, 생산 차질은 없어”

SK하이닉스 청주 공장. 뉴시스

SK하이닉스 청주공장에서 화재가 발생해 직원 11명이 병원으로 이송되고 3600여 명이 긴급 대피했다.

1일 충북도소방본부와 SK하이닉스 등에 따르면 이날 오전 10시 32분경 충북 청주시 흥덕구 SK하이닉스 청주 4캠퍼스 내 M15 공장과 M15X 공장을 연결하는 6층 가스룸에서 원인을 알 수 없는 화재가 발생했다. 불은 스프링클러 등 자동 소화 설비가 즉시 작동하면서 10여 분 만에 진화됐다.

하지만 가스룸에서 작업 중이던 직원 11명이 가스 배관 캐비닛에서 누출된 불소에 노출돼 SK하이닉스 청주공장 내 병원으로 이송됐다. 이 가운데 5명은 눈 따가움 증상을 보여 치료를 받았고, 나머지 직원들은 별다른 증상은 없었지만 이상 증상 발생 가능성에 대비해 병원으로 옮겨졌다.

소방 당국은 장비 25대, 인력 71명을 투입해 현장 조사를 진행했다. 불소는 반도체 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하거나 세정하는 과정 등에 사용되는 물질이다.

SK하이닉스는 청주공장 내 자체 불소 처리 시설을 통해 반도체 공정에 사용된 불소를 여러 차례 정화한 뒤 배출 기준에 맞춰 처리하고 있다고 설명했다. 유선우 청주공장 대외협력팀장은 “사업장 내 가스 공급 분기 설비의 불소 라인 시운전 과정에서 원인 미상의 화재가 발생한 것으로 보인다”고 밝혔다. 이어 “사고 직후 자체 매뉴얼에 따라 M15와 M15X 공장 직원 3600여 명을 모두 대피시켰고, 이상이 없다는 점을 확인한 뒤 약 1시간 30분 만에 복귀 조치했다”고 설명했다. SK하이닉스는 이후 환경 정화 장비를 가동해 불소 농도를 기준치인 3ppm 이하로 낮췄고 생산 설비에도 이상이 없어 생산 차질은 없는 상태라고 밝혔다.

앞서 지난달 27일 오전 10시 30분경에도 SK하이닉스 청주공장 M11 공장 내 반도체 설비에서 불꽃이 튀는 사고가 발생했다. 당시에는 직원들이 인근 소화 장비를 이용해 불꽃을 금방 잡았고 화재로 이어지지 않았다.