[반도체의 모든것]반도체산업은 「먼지와의 싸움」

  • 입력 1998년 5월 6일 07시 33분


반도체 공장에 다니는 여성은 나이보다 앳되게 보인다. 반도체 제조장비가 들어 있는 클린룸에서 일하는 여직원은 화장을 금지하기 때문이다.

피부에 묻어 있는 화장품이 먼지가 되어 반도체의 성능에 치명타를 입히는 것을 방지하기 위해서다.

반도체산업은 먼지와의 싸움이라고 해도 과언이 아니다. 클린룸에 들어가는 사람은 누구나 방진복에 방진모자 마스크 방진화 방진장갑까지 완전무장을 한다. 그것도 모자라 에어샤워룸에서 먼지를 말끔하게 털고 들어간다.

그렇게 해도 봄철 황사가 날아올 때는 미세먼지가 스며들어 수율에 영향을 받는다고 한다.

그렇다면 클린룸의 청정도는 얼마나 될까. 청정도를 나타내는 단위는 클래스. 1입방피트 공간에 0.5㎛ 크기의 먼지입자가 1개 들어 있는 수준이 1클래스다. 잠실야구장에 야구공이 한 개 있는 정도.

64메가D램을 생산하고 2백56메가D램의 양산단계에 돌입한 국내 반도체업체의 청정도는 대부분 1클래스 미만.

〈김학진기자〉

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