한국ＤＮＳ，국내기술 반도체 핵심장비 美에 첫 수출

국내 기술로 개발된 반도체 핵심장비가 미국에 첫 수출된다. 삼성전자가 일본DNS社 및 국내 반도체장비업체 등과 합작으로 설립한 한국DNS는 1일 반도체 일관생산공정의 핵심장비인 감광액도포현상기(Spinner), 자동표면세정장치 등 총 2천6백만달러어치의 장비를 미국에 수출한다고 밝혔다. 이번에 수출되는 장비는 삼성전자 현대전자 LG반도체 아남전자 등에 공급돼 3년간의 검증을 거쳤으며 미국반도체장비 안전규격인 S2-93 승인을 받았다. 94년 충남 반도체 장비공단에서 생산을 시작한 한국DNS는 현재 1공장에서 감광액도포현상기 등을 생산중이며 오는 9월 액정화면표시장치(LCD)를 생산하는 제2공장을 준공할 예정이다. 한국DNS는 현재 8인치 웨이퍼 생산공정 장비에 이어 차세대 공정기준인 12인치 웨이퍼 공정에 대응할 수 있는 신기술 연구에 주력하고 있으며 올해 6백억원의 매출을 목표로 하고 있다.