국내업체 “고순도 불화수소 생산 늘린다”

[日 2차 경제보복]내달 라인 증설… 숨통 트일듯
美서 고순도 생산업체 발굴도

일본이 지난달 수출 규제에 나선 이후 재고 확보가 가장 시급한 소재로 꼽혔던 불화수소(에칭가스)의 공급에 숨통이 트이고 있다. 국내 불화수소 제조업체들이 생산라인을 증설하고, 반도체 업체들도 공급 다변화에 속도를 내고 있기 때문이다.

8일 불화수소를 생산하는 국내 A업체 고위 임원은 동아일보와의 통화에서 “중국에서 원재료인 무수불산을 수입해 99.999%(파이브나인)급 이상의 고순도로 정제하는 기술이 국산화돼 있다”고 설명했다.

다만 이 관계자는 “기술은 국산화했지만 반도체 생산라인에 투입하려면 추가 검증 등 2∼3개월의 시간이 필요하다”면서 “일본 수출 규제가 장기화될 경우 당장 부족분을 100% 채울 수 있다고는 장담할 수 없다”고 조심스럽게 말했다. 일시적인 물량 부족 현상이 발생할 수 있다는 것이다.

불화수소는 첨단 공정으로 갈수록 일본 의존도가 높았지만, 최근 삼성전자와 SK하이닉스는 국내 중소기업인 솔브레인, 후성 등의 불화수소 테스트에 들어갔다. 다음 달 솔브레인의 2공장 증설라인이 가동되면 일본의 수출 규제로 막힌 물량이 어느 정도 충당될 것으로 보인다. SK그룹 계열사인 SK머티리얼즈도 올해 안에 샘플 제작을 목표로 고순도 불화수소 생산 준비에 나섰다. 삼성전자와 SK하이닉스는 미국에서도 고순도 불화수소의 공급업체를 찾은 것으로 알려졌다.

허동준 기자 hungry@donga.com