동아일보

［비즈니스 정보］ＬＧ 초미세 노광기술 확보

  • 입력 1996년 10월 21일 21시 02분

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▼ LG 초미세 노광기술 확보 LG반도체는 X선을 이용한 4기가D램급의 초미세 노광기술을 확보했다고 21일 발표 했다. 노광이란 반도체 회로를 웨이퍼 위에 형상화하는 기술로 LG반도체는 올해초 포항공대의 방사광 가속기를 활용, X선 노광기술 개발에 착수했다.
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