日규제 후 1년 만에…SK머티리얼즈, 불화수소 가스 국산화 성공

경상북도 영주시 SK머티리얼즈 본관© News1

SK그룹의 소재 전문 계열사 SK머티리얼즈가 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산에 성공했다. 일본의 수출 규제 시행 후 1년 만에 거둔 반도체 소재 국산화 성과로 SK머티리얼즈는 불화수소 가스의 국산화율을 2023년까지 70% 수준으로 끌어올릴 계획이다.

SK머티리얼즈는 17일 불화수소 가스를 경북 영주시 공장에서 양산하기 시작했다고 밝혔다. 불화수소 가스는 반도체 제조 과정에서 쓰이는 세정 가스로 지난해 7월 일본의 수출 규제 대상에 포함된 주요 소재 중 하나다. 그동안 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체 업체들은 초고순도 불화수소 가스를 일본 등 해외에서 거의 전량 수입했으나 SK머티리얼즈의 양산 성공으로 앞으로 국산화율이 빠르게 높아질 것으로 보인다. SK머티리얼즈는 연간 15t규모의 불화수소 가스를 생산할 예정이다.

SK머티리얼즈는 일본의 또 다른 수출 규제 소재 품목인 불화아르곤 포토레지스트 개발에도 나섰다. 400억 원을 투자해 내년까지 국내에 공장 설립을 마무리하고 2022년부터 연간 5만 갤런 규모의 불화아르곤 포토레지스트 양산을 목표로 사업을 추진하고 있다. 불화아르곤 포토레지스트는 반도체 웨이퍼(기판) 회로를 미세하게 그릴 때 쓰이는 사용되는 소재로 해외 의존도가 90% 이상이다. SK머티리얼즈는 올해 2월 불화아르곤 포토레지스 사업에 진출하기 위해 금호석유화학의 전자소재사업을 400억 원에 인수한 뒤 자회사(SK머티리얼즈퍼포먼스)로 편입시켰다.

SK그룹 관계자는 “자체 연구개발(R&D)은 물론이고 인수합병(M&A)과 기술 계약으로 핵심 소재 국산화를 추진할 것”이라며 “또 중소기업과의 상생 협력으로 국내 반도체 생태계를 강화하겠다”고 말했다.

지민구 기자 warum@donga.com