반도체 에칭액 재활용기술 개발

한국화학연구원 김광주(金光珠) 박사팀은 반도체 LCD기판의 에칭공정에서 배출되는 폐액으로부터 초고순도 인산, 질산, 초산을 회수해 재활용할 수 있는 기술을 개발했다고 15일 밝혔다.

이 기술은 용매, 중화제, 촉매를 사용하지 않아 기존 처리 기술과 달리 오염을 일으키지 않고 에너지를 덜 소모하는 것이 장점이다.

현재 이 기술에 대해 특허 출원 중이고 반도체업체와 환경업체에 기술 이전을 추진 중이다. 화학연구원은 연간 50t의 폐액을 처리할 수 있고 연간 700억원대의 폐기물 처리 비용이 줄어들 것으로 기대된다고 덧붙였다.

이충환 동아사이언스기자 cosmos@donga.com