日, 기체 불화수소 2건 수출 허가…불산액은 국산 투입

삼성전자·SK하이닉스, 지난달 日 정부에 수출 허가 받아
불산액 수입 허가는 없어...SK하이닉스, 국산 제품 일부 공정 투입

삼성전자와 SK하이닉스가 최근 일본 정부로부터 수출 규제 이후 기체 불화수소(에칭가스)에 대한 수출 허가를 받은 것으로 확인됐다.

유명희 산업통상자원부 통상교섭본부장은 2일 국회에서 열린 산업통상자원중소벤처기업위원회 국정감사에서 “일본 정부가 반도체·디스플레이 핵심소재 3개 품목에 대한 수출 규제를 실시한 이후 총 7건의 수출 허가를 내줬다”고 밝혔다.

전날 산업부는 포토레지스트 3건, 에칭가스 1건, 불화폴리이미드 1건 등 총 5건의 수출 허가가 있었다고 밝힌 바 있다. 지난달 30일 기체 불화수소에 대한 2건의 수출 허가가 확인됐다.

기체 불화수소에 대한 수출 허가를 받은 업체는 삼성전자와 SK하이닉스다.

SK하이닉스 관계자는 “지난달 30일 반도체 공정에 필요한 기체 불화수소 수입을 일본 정부로부터 허가받았다”며 “아직 국내로 반입한 것은 아니다”라고 밝혔다.

기체 불화수소는 지난 8월 삼성전자가 수출 규제 조치 이후 처음으로 수입 허가를 받은 바 있다. SK하이닉스는 삼성전자에 이어 두 번째로 수입 허가를 받았다.

앞서 일본 정부는 지난 7월 반도체·디스플레이 소재로 쓰이는 3개 품목에 대해 포괄허가에서 개별허가제로 바꾸는 등 수출 규제 강화 조치를 시행했다. 수출허가 심사 기간은 최대 90일이다.

일본 정부는 포토레지스트의 경우 지난달 7일, 에칭가스는 지난달 말 각각 첫 대한(對韓) 수출 허가를 내줬다.

다만, 기체 불화수소보다 사용량이 많은 액체 불화수소(불산액)는 수입 허가가 한 건도 나지 않았다. 이에 SK하이닉스는 일부 생산라인에 국산 불산액을 투입해 사용하고 있다.

SK하이닉스 관계자는 “국내 업체가 조달한 액체 불화수소에 대한 적합성 테스트를 마쳤다”며 “이달부터 일부 공정에 투입했다”고 말했다.

【서울=뉴시스】