레이저로 홈 새겨 고집적 전자소자 만든다

KAIST고승환 양동열 교수팀

레이저로 기판의 표면에 홈을 파 고집적 전자소자를 만드는 기술을 국내 연구진이 개발했다. KAIST는 2일 고승환, 양동열 기계공학과 교수팀이 ‘펨토초레이저’로 기판에 380nm(나노미터·1nm는 10억분의 1m) 폭의 홈을 새기는 데 성공했다고 밝혔다.

고집적 전자소자는 홈의 폭이 1000nm보다 작아야 하는데 기존에도 진공 상태에서 전자빔을 이용하는 기술이 연구됐지만 비용이 많이 들어 상용화하는 데 한계가 있었다. 또 펨토초레이저를 활용해 전자소자에 홈을 새기는 방식도 개발됐지만 고온의 열이 홈 주변을 녹이는 바람에 세밀함이 떨어지는 단점이 있었다.

KAIST 교수팀은 금속 나노입자를 이용해 열 확산을 막아 이 문제를 해결했다.

고 교수는 “다양한 재질의 전자소자에 홈을 낼 수 있어 ‘휘는 반도체’를 만드는 데 이 기술을 활용할 수 있을 것”이라고 설명했다. 이번 연구는 재료 분야 국제학술지인 ‘어드밴스트 머티리얼스’ 7월호에 게재됐다.

전동혁 동아사이언스 기자 jermes@donga.com