탄소나노튜브 탐침 부착 세계 최고 정밀기술 개발

원자현미경에 미세한 탐침을 세계 최고 수준의 정밀도로 붙일 수 있는 기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.

이 탐침을 이용하면 고집적 반도체의 개발도 가능할 것으로 기대된다.

한국표준과학원 안상정 박사는 1일 “갈륨이온 빔으로 원자현미경에 탄소나노튜브 탐침을 원하는 위치에, 원하는 각도로 정확하게 붙이는 데 성공했다”고 밝혔다. 탄소나노튜브는 탄소가 지름 10nm(나노미터·1nm는 10억분의 1m)의 관 형태로 모인 소재로 그동안 원자현미경에 원하는 각도로 붙이기가 어려웠다.

안 박사는 “기존 방법으로는 부착 각도가 10도 이상 오차가 났으나 이 기술을 적용하면 오차가 1도 이내로 줄어 정밀도가 크게 높아진다”고 말했다.

이충환 동아사이언스 기자 cosmos@donga.com