일반사무실보다 ５만배 깨끗 「청정연구실」 준공

「가장 깨끗한 연구실」이 등장했다. 한국과학기술연구원(KIST)은 11일 원내에서 지상1층, 지상4층, 연면적 2천13평 규모의 청정연구동 준공식을 가졌다. 이 청정연구동은 클래스10 클래스100 클래스1000 등 세 종류의 클린룸을 갖추고 있다. 클래스10은 가로 세로 높이 30㎝의 부피를 기준으로 0.3마이크로미터(㎛·1만분의 3㎜) 크기의 먼지가 10개 미만인 청정상태를 유지한다. 보통 사무실은 이 부피속의 먼지가 50만개 가량. 사람이 심한 운동을 하면 먼지의 양은 5백만개로 늘어난다. 따라서 클래스10의 클린룸은 일반 사무실에 비해 5만배 정도 깨끗하다고 할 수 있다. 먼지는 고집적 반도체 등 정밀회로에 들러붙을 경우 오동작을 일으키기 때문에 클린룸은 반도체 공정의 「핵심중 핵심」으로 꼽히고 있다. 클린룸은 천장에서 바닥으로 항상 초속 25m의 「공기 소나기」가 내려 먼지를 씻어 내린다. 담배를 피워도 연기가 바닥으로 빨려 나간다. 미세한 진동으로 먼지가 생기는 것을 막기 위해 클린룸은 전체 건물과는 별도로 기초공사가 이뤄졌다. KIST는 다음달부터 이 클린룸에서 신소재 및 초고집적 반도체 환경연구 등을 본격 시작한다. 〈최수묵기자〉