[비즈파일] 삼성 ArF감광제 개발

삼성전자는 0.10㎛(1㎛는 100만분의 1m) 이하의 초미세 회로선폭 반도체 제조에 필요한 ‘아르곤 플로라이드(ArF) 감광제’를 개발했다고 13일 밝혔다.

감광제는 반도체 설계 회로를 원재료인 웨이퍼로 옮기는 과정에서 반드시 필요한 물질로 이번에 개발된 ArF 감광제는 해상도가 높아 초미세 회로 제작에 필수적인 제품이다.삼성전자측은 “일본 미국 등의 선진국 업체에 앞서 0.10㎛ 이하의 회로선폭 제작이 가능한 감광제를 개발함으로써 기가급 반도체의 상용화를 앞당기고 세계시장에서 경쟁력을 강화하게 됐다”고 말했다