지역별로 보면 중국의 지난해 반도체 장비 매출액(시장 규모)은 296억 달러로 전년 대비 58% 증가하며 2년 연속 가장 큰 시장 규모를 유지했다. 한국은 전년 대비 55% 증가한 250억 달러를 기록하며 2위를, 대만은 45% 성장한 249억 달러로 3위를 차지했다. 유럽과 북미 지역은 각각 23%, 17% 성장세를 보였다.
분야별로는 웨이퍼 가공 장비 매출액이 44%, 기타 전공정(Front-end) 부문 매출은 22% 증가했다. 조립 및 패키징 분야는 전 세계 모든 지역에서 예외적인 급등세를 기록하며 전년 대비 장비 매출이 87% 늘었다.
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