반도체칩 제조장비「코터」국내 첫개발…美서 연구비 지원

‘대학교수도 외화를 벌 수 있다.’ 한국과학기술원(KAIST) 전산학과 이광형교수팀은 13일 미국 AIO사의 의뢰로 반도체칩 제조장비인 코터(Coater)를 개발했다고 발표했다. 이교수팀은 AIO사로부터 지난 한 해 동안 연구개발비로 4만달러(약 7천만원)를 받았다. 코터는 웨이퍼에 감광(感光)제를 균일하게 바르고 사진작업이 끝나면 현상을 하는 반도체칩 전공정에 필수적인 고난도 장비로 국내에서 개발된 것은 이번이 처음. 이교수팀이 개발한 코터는 미국과 일본에서 제작된 장비와 달리 각 부품을 쉽게 분리 조립할 수 있도록 모듈로 제작돼 고장이 나더라도 유지보수 시간이 크게 짧아진 것이 특징이다. 이교수는 “이번 연구의 의미는 국내 대학이 미국소재 기업으로부터 연구비를 받아 과제를 수행했다는 점”이라며 “연구지원을 받은 것은 물론 학생들이 직접 미국의 실리콘밸리에서 외국기술자와 연구를 벌임으로써 유익한 경험을 할 수도 있었다”고 말했다. AIO사는 직원 1백50명인 반도체제조 전문회사로 재미교포인 김인곤씨가 설립해 현재 연간 3천만달러의 매출을 올리는 중견기업이다. 이번 개발과 관련, 현대전자는 이교수팀이 개발한 코터를 미국 AIO사로부터 도입해 시험가동을 마친 뒤 공정에 적용하기로 했다. 〈최수묵기자〉