SK하이닉스가 신규 메모리반도체 생산라인 ‘M16’을 준공하고 하반기부터 차세대 D램 양산에 들어간다. M16은 SK하이닉스가 반도체 미세공정의 핵심기술인 최첨단 EUV(극자외선) 노광 장비를 도입한 첫 생산라인이다.
최태원 SK그룹 회장은 1일 경기 이천시 SK하이닉스 본사에서 열린 준공식에서 “반도체 경기가 하락세를 그리던 2년 전 M16을 짓는다고 했을 때 우려의 목소리가 많았지만 이제 반도체 업사이클의 얘기가 나온다”며 “어려운 시기에 내린 과감한 결단이 더 큰 미래를 꿈꿀 수 있게 해주었다”고 소회를 밝혔다.
이어 “M16은 그동안 회사가 그려온 큰 계획의 완성이자 앞으로 용인 클러스터로 이어지는 출발점으로서 중요한 상징으로 남을 것”이라고 강조했다. 이날 준공식은 신종 코로나바이러스 감염증(코로나19) 방역수칙을 준수하기 위해 최 회장 등 소수 인원만 현장 참석했다.
SK하이닉스는 2018년 11월 M16 착공 이후 총 3조5000억 원, 공사 인력 334만 명(연인원)을 투입해 25개월 만에 준공했다. M16은 축구장 8개 넓이에 해당하는 5만7000m² 규모로 SK하이닉스 국내외 생산시설 중 가장 크다. 3층 구조의 첫 반도체 공장으로 높이는 아파트 37층과 비슷한 105m다.
M16은 EUV 공정을 적용한 SK하이닉스의 첫 생산라인이다. 이곳에선 하반기(7∼12월)부터 4세대 10나노급(1a) D램 양산에 들어갈 것으로 보인다. EUV는 기존 공정인 불화아르곤(ArF) 빛보다 파장이 짧아 훨씬 세밀한 회로를 그릴 수 있다. EUV 공정으로 4세대 10나노급(1a) D램 양산에 성공하면 현재 양산 중인 3세대 10나노급(1z) D램보다 생산성이 40% 개선되는 것으로 알려졌다.
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