삼성전자, 일부 공정서 일본산 불화수소 대체품 투입

삼성전자가 반도체 생산 공정에 사용하던 일본산 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체한 것으로 확인됐다. 7월 초 일본이 한국을 상대로 포토레지스트(감광액), 플루오린 폴리이미드와 함께 불화수소의 수출 규제를 강화한 이후 두 달여 만이다.

3일 삼성전자 관계자는 “일부 라인에서 일본산 이외의 제품을 적용하기 시작했다”라며 “민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해나갈 계획”이라고 말했다. 이 관계자는 또 “꾸준히 불화수소 공급처를 다변화하기 위해 노력 중”이라고 덧붙였다. 반도체 업계에 따르면 삼성전자가 새로 투입한 불화수소 중에는 국내 업체 제품도 포함된 것으로 알려졌다.

불화수소는 반도체 기판으로 쓰이는 실리콘 웨이퍼에 있는 불필요한 회로를 깎아내는 식각 공정과 웨이퍼에 쌓인 불순물을 없애는 세정 작업에 사용된다. 약 700여 개 반도체 공정에서 불화수소를 사용하는 공정은 약 50개 이상인 것으로 알려져 있다.

삼성전자뿐 아니라 SK하이닉스, LG디스플레이 등도 일본의 수출 규제 강화 이후 공급처 다변화를 위해 국내외 업체의 불화수소를 테스트하고 있다. SK하이닉스의 경우 일본산 이외의 제품을 시험 중이지만 아직 대체품을 양산에 직접 투입하지는 않은 것으로 알려졌다.

일본 정부는 한국을 상대로 한 수출 규제 강화 이후 지난달 29일 처음으로 불화수소의 한국 수출을 허가했다. 당시 산업통상자원부는 일본이 불화수소를 국내 대형 반도체회사로 수출토록 허가한 사실을 확인했다고 밝혔다. 일본 스텔라사가 생산한 불화수소가 삼성전자로 수출된 것으로 알려졌다.

서동일기자 dong@donga.com