지난 17일 선문대에서 열린 선문대-웨이퍼마스터스 연구교류 MOU 체결식. 웨이퍼마스터스는 미국 실리콘벨리에서 역량을 인정받은 반도체 검사장비 업체다. 황선조 선문대 총장(좌측에서 네번째)과 유우익 웨이퍼마스터스 대표가 MOU 체결서를 듣고 있다. 유우익 대표 옆은 김호섭 차세대반도체연구소 소장겸 기계ICT융합공학부 교수.선문대 제공
황선조 선문대 총장은 체결식에서 “글로벌 산학협력을 선도하는 대학으로서 실리콘밸리 기업과의 MOU체결은 지역산업발전에 기여하는 기폭제가 될 것으로 기대돼 그 의미가 매우 크다”며 MOU 체결을 반겼다. 유우식 웨이퍼마스터스 대표는 “지난 수년간 미국, 일본에서 진행한 산학협력의 경험을 바탕으로 선문대와도 좋은 결실을 맺었으면 좋겠다”고 말했다.
선문대는 앞으로 웨이퍼마스터스에 연구 공간, 시설 및 연구 인력을 제공하고 웨이퍼마스터스는 측정 및 검사장비와 연구비를 지원해 디스플레이용 비파괴 검사기술을 공동으로 개발하게 된다. 웨이퍼마스터스가 지원하는 장비는 나노반도체 공정에서 사용하는 웨이퍼 비파괴 검사장비로서 비파괴방식으로 12인치 (300mm) 반도체 웨이퍼에 있는 미세패턴의 결함을 검사하는 첨단 장비다.
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이종승기자 urisesang@donga.com