반도체 공정용 핵심 필터 국산화…시노펙스, ENVEX 2026 참가

시노펙스가 제47회 국제환경산업기술·그린에너지전(ENVEX 2026)에 참가한다. 시노펙스 제공

시노펙스가 반도체 공정용 핵심 필터와 산업용 수처리 기술, 탄소중립 관련 솔루션을 앞세워 ‘제47회 국제환경산업기술·그린에너지전(ENVEX 2026)’에 참가한다고 20일 밝혔다.

제47회 국제환경산업기술·그린에너지전(ENVEX 2026)은 오는 22일까지 서울 코엑스(COEX)에서 열린다. 한국환경보전원 등이 주최하고 환경부와 산업통상자원부 등이 후원하며 13개국 약 260개 기업이 참여한다.

이번 전시에서 시노펙스는 반도체·디스플레이 공정용 나노급 케미컬 필터(ePTFE)와 초순수 공정용 ‘파이널 UF(한외여과)’ 필터를 주요 기술로 선보인다.

반도체 공정용 나노급 케미컬 필터는 반도체 생산 과정에서 사용하는 화학약품 속 초미세 불순물을 제거하는 핵심 부품이다. 초순수 공정용 파이널 UF 필터는 반도체 세척 공정에 사용되는 초순수를 최종 단계에서 정제하는 역할을 한다. 회사 측은 해당 제품들이 기존 해외 의존도가 높았던 분야의 국산화 기술이라고 설명했다.

이와 함께 산업용 수처리 분야에 적용되는 멤브레인 기반 필터 제품군도 공개한다. 멤브레인은 물이나 화학물질 속 미세 입자를 걸러내는 특수 필터막 기술로, 하·폐수 처리와 산업용 폐수 재이용, 해수 담수화 등에 활용된다.

시노펙스는 △PVDF 멤브레인 필터 △MBR 멤브레인 필터 △기체분리막 등을 전시할 예정이다. PVDF 멤브레인 필터는 산업용 폐수 처리와 물 재이용 시설 등에 적용되며, MBR 멤브레인 필터는 반도체 폐수 처리와 지방자치단체 하·폐수 처리 시설 등에 사용된다.

탄소중립 분야에서는 기체 분리 멤브레인 기술을 적용한 수소(H2) 정제용·산소(O2) 발생용·이산화탄소(CO2) 포집용 기체분리막도 선보인다.

시노펙스 관계자는 “국산화 첨단 멤브레인 기술을 위해 지난 수년간 공들여왔다”며 “이번 전시를 통해 해당 기술이 어떻게 지구 환경을 보호하고 산업용수를 효율적으로 재활용하는지 보여줄 것”이라고 밝혔다.

지희수 기자 heesuji@donga.com