유리기판 TGV 검사기 개발… 액상 파티클 솔루션도 선봬

레이저 비아홀 검사기 PAVIS-LV 시리즈

이종로 대표

국내 반도체 및 PCB 검사 장비 시장을 선도해온 ㈜에이케이씨(AKC, 대표 이종로)가 세계 최초로 유리기판 TGV(글라스 관통 전극) 검사기 개발에 성공했다. 해당 검사기는 중우엠텍에 공급되며 여러 유리기판 제조사의 관심 속에서 반도체 패키징 검사장비 시장에서도 혁신을 주도하고 있다. 유리기판은 기존 플라스틱 소재 대비 표면이 매끄럽고 얇게 제작이 가능하며 신호 전달과 전력 효율이 뛰어나 차세대 반도체 기판으로 각광받고 있다. 유리기판 제조 공정의 초기 가공 단계인 TGV의 형성은 반도체 칩 패키징의 성능과 안정성을 좌우하는 핵심 요소로 TGV의 정밀 검사가 필수적으로 요구된다.

에이케이씨는 첨단 광학 기술과 패키징 검사 기술을 결합해 기존 방식과는 달리 유리기판을 반전시키지 않고도 빠르고 정확하게 TGV의 크기와 결함을 동시에 검사 가능한 혁신 기술을 개발했다. 새롭게 선보인 유리기판 TGV 검사기 ‘PAVIS-TGV’는 기존 검사기들이 TGV 홀의 상단, 중간, 하단을 각각 개별적으로 검사했던 것과는 달리 제품 상면에서의 측정만으로도 TGV 홀 전체와 유리 결함 검사의 정밀도와 효율성을 높여 전수 검사가 가능하다. 완전 자동화된 검사 시스템도 주목할 만하다. 회사는 로봇 반송과 첨단 광학 비전 기술을 활용한 풀 자동화 시스템을 적용해 유리 접촉을 최소화해 생산성과 품질 향상에도 크게 기여할 것으로 보인다.

회사는 2021년 세계 최초로 컬러 방식의 레이저 비아홀 검사기 ‘PAVIS-LV’를 개발해 공급하며 반도체 검사 기술 혁신을 이끌어 왔다. 최근 반도체 첨단 패키징 기술이 빠르게 발전하면서 기판 층 사이를 전기적으로 연결하는 비아홀의 정밀화와 미세화가 가속화되는 가운데 에이케이씨는 고해상도 컬러 광학계를 적용해 검사 정확도를 한층 높였다. 기존 흑백 검사기로는 검출이 어려웠던 투명성 레진 잔사나 산화로 인한 변색까지 감지 가능해 업계의 주목을 받았으며 그 기술력을 인정받아 2023년 산업통상자원부 장관상을 수상했다.

액상 파티클 검사 솔루션 ‘AI 파티클 이미저’

지난해부터는 반도체 및 PCB 제조 공정의 품질과 신뢰성 강화를 위한 액상 파티클 검사 솔루션도 제공하고 있다. 에이케이씨가 공급하는 인라인 파티클 카운터(MLPC)는 10개의 채널을 보유해 각 라인의 액체 내 파티클의 크기와 수량을 실시간으로 관리할 수 있다. 또한 ‘AI 파티클 이미저’는 파티클의 이미지를 촬영하고 AI를 활용해 액체 입자의 형태, 크기, 수량 등을 자동으로 분석해 제공한다. ‘스타터 키트’는 CMP(화학·기계적 연마) 슬러리, MLCC(적층세라믹콘덴서) 세라믹 및 금속 입자 등을 액체 상태 그대로 SEM(주사전자현미경)에 촬영 가능케 해 분석 보고서를 제공한다. 이를 통해 연구개발과 생산 과정에서 액체 내 파티클을 미세하게 분석할 수 있어 품질관리 수준을 한층 끌어올렸다. 액상 파티클 검사기는 액체 내 파티클 관리가 필요한 다양한 분야에도 응용 가능해 그 주목도가 더 커진다.

에이케이씨는 2023년부터 일본, 대만, 중국 현지 대리점을 통해 본격적으로 글로벌 시장에 진출했다. 각 지역의 특성을 고려한 맞춤형 영업 전략으로 365일 고객사의 생산 현장에 차질이 없도록 상시 서비스 체계를 구축하며 고객 만족 경영을 실현해왔다. 올해는 기존 제품의 시장 입지를 더욱 견고히 다지며 지속적인 신제품 개발을 통해 기술 경쟁력을 강화할 방침이다.

인재 확보에도 적극적으로 나서고 있다. 이종로 대표는 “영상처리, AI, 광학, 로봇공학, 머신비전, 기계·전장설계 등 첨단 기술 분야의 창의적이고 도전적인 전문 인력을 지속적으로 채용하고 연구개발 환경 최적화를 위한 투자를 아끼지 않을 것”이라고 강조했다.



안소희 기자 ash0303@donga.com