나노선 측정 정확성 높인 기술 개발

한양대 신소재공학부 연구팀

 장재일 교수

 박원일 교수

두께가 수 nm(나노미터·1nm는 10억분의 1m)인 극미세선의 물성을 정확히 분석하는 기술이 개발됐다. 장재일, 박원일 한양대 신소재공학부 교수 공동 연구팀은 원자힘현미경(AFM)과 나노압입 장치를 이용해 나노선의 탄성, 강도 등 물리적 특성을 정확하게 측정하는 데 성공했다고 20일 밝혔다.

나노선은 트랜지스터, 메모리 등 다양한 미세 소자에 활용되며 크기에 따라 물리적인 성질이 변한다. 그동안 이런 성질을 정확하게 파악하지 못해 제품을 개발할 때 오차가 생겼다. 장 교수는 “나노선 물성 평가 방법을 정립함으로써 더 얇고 신뢰성 높은 나노선을 제작할 수 있게 됐다”며 “우수한 차세대 나노 소자를 설계하는 데 큰 도움이 될 것”이라고 말했다. 이 연구는 재료공학 분야 학술지 ‘어드밴스드 펑셔널 머티리얼스’ 1월호에 게재됐다.

이영혜 동아사이언스 기자 yhlee@donga.com