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[이코노파일]현대전자,0.12미크론회로 현상장비 개발
입력
|
1997-07-28 20:05:00
현대전자(대표 鄭夢憲·정몽헌)는 0.12μ(머리카락직경의 6백분의1)의 초미세 선폭을 그려넣을 수 있는 반도체용 회로 현상장비를 미국 반도체장비업체인 램 리서치사와 공동개발했다고 28일 밝혔다. 이 장비를 이용하면 기존 64메가D램 생산시설을 활용, 4기가D램을 제조할 수 있다.
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