제일모직은 미국 캐보트 마이크로일렉트로닉스와의 반도체 웨이퍼 연마제 특허 항소심 소송에서 승소했다고 7일 밝혔다. 제일모직에 따르면 지난해 말 서울고법 민사4부는 “제일모직 제품은 반도체 기판 제조기술 분야에서 관련 분야 전문가라면 쉽게 만들 수 있는 자유기술에 해당하는 만큼 특허권을 침해했다고 볼 수 없다”고 판결했다.
특허 분쟁 대상이 된 반도체 웨이퍼 연마제는 ‘슬러리(Slurry)’라는 반도체 회로를 구성하기 위해 웨이퍼를 평탄화하는 재료로 반도체 고집적화의 핵심소재 기술이다. 제일모직은 전자재료 사업을 본격화한 2003년 삼성전자를 통해 미국 캐보트, 일본 히타치가 선점한 이 시장에 진출했다.
제일모직 관계자는 “이번 항소심 승소로 현재 진행 중인 특허무효 2심 심판에서도 유리한 고지를 점하게 됐다”며 “자체 기술력을 바탕으로 향후 반도체 소재 시장에서 제품을 안정적으로 공급해 나가겠다”고 말했다.
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정효진 기자 wiseweb@donga.com