웨이퍼 패턴 결함 검사장비 국산화 성공

[2026 국가산업대상] 기술혁신 ㈜넥스틴 ★★

㈜넥스틴이 ‘2026 국가산업대상’ 기술혁신 부문 대상을 수상했다. 6년 연속이다.

2010년 설립된 넥스틴은 국내에서 유일하게 광학기술 기반 ‘반도체 전(前)공정 웨이퍼 미소 패턴 결함 검사장비’를 개발했다. 국내 반도체 장비 국산화율은 현재 약 20% 수준에 불과한 것으로 추정되며 80%는 수입으로 매우 높은 기술적 진입장벽이 형성돼 있다. 이에 넥스틴은 노광, 식각, 박막, 증착 등 반도체 전공정에서 생기는 반도체 소자 회로의 패턴 불량을 검사하는 장비를 지속 출시하며 반도체 전공정 장비 시장에서 국산화를 선도하고 있다.

넥스틴의 인스펙션 장비는 반도체 전공정 불량의 40%를 차지하는 초미세 패턴 결함을 관리해 양산 수율 증가에 핵심적인 역할을 수행한다. 이러한 패턴 결함 검사장비는 크게 다크필드(DF) 방식과 브라이트필드(BF) 방식으로 나뉘는데 반도체 인스펙션 검사장비는 고객의 높은 신뢰성 요구로 시장 진입 기술 장벽이 매우 높다. 그럼에도 넥스틴은 두 가지 방식을 결합한 AEGIS(이지스) 장비의 국산화에 성공해 시장에 안착했다.

넥스틴은 국내 중소기업으로서는 유일하게 이스라엘에 R&D 센터를 운영하고 빅데이터 분석, 알고리즘 개발을 진행하며 기술 경쟁력을 확보했다. 특히 2D 이미징 기술을 기반으로 가격경쟁력을 갖추며 반도체 패턴 결함 검사장비 시장에 성공적으로 진입했다.


최지수 기자 jisoo@donga.com