KAIST고승환 양동열 교수팀
고집적 전자소자는 홈의 폭이 1000nm보다 작아야 하는데 기존에도 진공 상태에서 전자빔을 이용하는 기술이 연구됐지만 비용이 많이 들어 상용화하는 데 한계가 있었다. 또 펨토초레이저를 활용해 전자소자에 홈을 새기는 방식도 개발됐지만 고온의 열이 홈 주변을 녹이는 바람에 세밀함이 떨어지는 단점이 있었다.
KAIST 교수팀은 금속 나노입자를 이용해 열 확산을 막아 이 문제를 해결했다.
전동혁 동아사이언스 기자 jermes@donga.com