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차세대 반도체 제조 공정에 사용되는 레이저를 소규모 시설에서 값싸게 만드는 기술을 국내 연구진이 개발했다.
KAIST 기계공학과 김승우(사진) 교수팀은 의학 연구와 차세대 반도체 제조 공정에 사용되는 극자외선 레이저 광원을 노트북컴퓨터만 한 장비로 만드는 기술을 개발했다고 4일 밝혔다.
영국의 과학학술지 ‘네이처’는 5일 이 기술을 주요 연구로 소개됐다. 초집적 전자회로를 만들 때 사용되는 극자외선 레이저는 지금까지 가속기 같은 대규모 시설에서 만들 수 있었다.
극자외선 레이저의 개념은 오래전부터 알려졌지만 이를 실제 산업 현장에서 활용할 수 있는 크기로 만든 것은 김 교수팀이 처음이다.
김 교수는 “큰 건물만 한 규모의 연구시설에서 만들던 극자외선 레이저를 노트북 크기 장치에서 간단히 구현할 수 있음을 보여준 첫 사례”라며 “이 기술이 다방면에서 활용될 가능성을 높였다”고 말했다.
박근태 동아사이언스 기자 kunta@donga.com