2016년 차세대리소그래피 학술대회 조직위원 및 기조연설 초청자: 왼쪽부터 최준혁 박사(한국기계연구원, 조직위원)), 이준호 교수(공주대, 조직위원), 이승걸 교수 (인하대, 대회조직위원장), 이학주 단장(한국기계연구원, 기조연설), 이상배(한국광학회 회장), 강호영 박사(미국 TEL, 기조연설), 한재원 교수(연세대, 한국광학회 부회장, 초대조직위원장), 김호섭 교수(선문대, 조직위원), 복철규 위원(SK하이닉스, 기조연설), 안창남 박사(ASML코리아), 박경수 마스터(삼성종합기술원, 기조연설), 김향균 교수(홍익대, 조직위원), 이병규 박사(삼성전자, 조직위원)
이번 학술대회에서는 100개(기조연설 4개 포함)의 학술논문이 발표됐고 이중 한국표준과학연구원 진종한 박사가 제출한 ‘3D 반도체 측정 기술’이 리소그래피 분야 세계 1위 기업인 ASML이 주는 ‘신진학술상’을 수상했다. 대회 조직위원장 이승걸 교수(인하대)는 “앞으로 학술대회를 반도체, 디스플레이, 인쇄전자 분야뿐만 아니라 패키징, MEMS 센서, 3D 프린트 및 차세대 패터닝기술 분야 등으로 확장해 이 분야를 선도하는 국제적 학술대회로 발전시키는데 노력을 다 할 것” 이라고 향후 계획을 밝혔다.
이종승전문기자 urisesang@donga.com