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삼성, 日서 전량 수입하던 반도체 소재 국산화

삼성, 日서 전량 수입하던 반도체 소재 국산화

Posted June. 09, 2021 07:25,   

Updated June. 09, 2021 07:25

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 삼성전자가 일본과 독일에서 전량 수입하던 반도체 핵심 소재 ‘고순도 염화수소’를 국내 중견기업 백광산업과 손잡고 국산화에 성공했다. 2019년 7월 일본이 반도체 소재 수출 규제에 나서자 개발에 착수한 지 2년여 만에 일본 의존도가 높던 소재의 국산화에 성과를 거둔 것이다.

 8일 삼성전자 및 반도체업계에 따르면 양 사는 고순도 염화수소를 삼성전자 반도체 설비에 실제 적용하는 품질 테스트를 최근 완료했다. 올해 하반기(7∼12월) 중 최종 계약을 마무리할 예정이다.

 고순도 염화수소는 반도체 제조 공정 중 웨이퍼에 그려진 반도체 회로만 남기고 불필요한 부분을 부식시켜 깎아내는 식각(蝕刻)액으로 쓰인다. 삼성전자는 그간 협력사인 솔브레인을 통해 일본 토아고세이, 독일 린데 등의 제품을 수입해 왔다. 지난해 수입 규모만 약 570억 원으로 알려졌다. 삼성전자 관계자는 “주요 소재의 단일 국가 의존도를 낮추고 공급처를 다변화했다는 데 의미가 있다”고 말했다.

 고순도 염화수소는 일본이 수출 규제를 한 품목은 아니다. 일본 정부가 고순도 불화수소 등 일본이 독점하던 일부 핵심 소재 수출을 제한하자 삼성과 SK하이닉스 등은 불확실성을 줄이기 위해 공급망을 점검하며 국산화 및 다변화에 나서 왔다. 지난해부터 한국 반도체 소재 기업인 솔브레인, SK머터리얼즈, 동진쎄미켐 등이 속속 불화수소 등의 소재 국산화 성과를 냈다.


곽도영 now@donga.com