［비즈니스 정보］ＬＧ 초미세 노광기술 확보

입력 | 1996-10-21 21:02:00

▼ LG 초미세 노광기술 확보 LG반도체는 X선을 이용한 4기가D램급의 초미세 노광기술을 확보했다고 21일 발표 했다. 노광이란 반도체 회로를 웨이퍼 위에 형상화하는 기술로 LG반도체는 올해초 포항공대의 방사광 가속기를 활용, X선 노광기술 개발에 착수했다.