SK海力士成功實現“半導體生產核心原料”氖氣的國產化

SK海力士在國內業界首次成功實現了半導體生產工藝的必需原料—氖氣（Neon Gas）的國產化。此前全部依賴進口的氖氣在俄羅斯-烏克蘭戰爭後價格暴漲，供應持續不穩定。

SK海力士5日表示，今年4月成功實現氖氣的首次國產化後，目前工藝引進比重已擴大到40%。也就是說，在不穩定的國際局勢下，不僅穩定地供需氖，還大幅節省了費用。SK海力士計劃到2024年為止，將氖國產化比重提高到100%。

　氖是半導體曝光工程中使用的氣體主材料，是空氣中僅存在0.00182%的稀有資源。到目前為止，國內半導體業界氖全部依賴進口。特別是來自發生戰爭的烏克蘭（23.0%）和俄羅斯（5.3%）的進口比重較高。全球市場氖價格在兩國戰爭後暴漲了10倍，到目前為止壹直處於不穩定狀態。

SK海力士與半導體用氣體制造企業TEMC、浦項制鐵合作，壹直在摸索在國內生產氖的方法。要想在空氣中采集氖，需要大規模的空氣分離裝置，因此初期投資費用很高。三家公司利用現有設備，開發出了既能節約費用又能確保氖的技術。目前，國產氖在浦項制鐵生產後，經過TEMC的加工，優先供應給SK海力士。


郭道英 now@donga.com