삼성전자 “일부 공정서 日 불화수소 국산으로 대체”

일본 경제산업성이 7일 한국을 수출관리상 일반포괄허가 대상인 백색국가에서 제외하는 법령 개정안을 공포하며 시행세칙인 ‘포괄허가취급요령’을 공개했다. 이 ‘요령’은 1,100여 개의 전략물자 품목 중에 어떤 품목을 개별허가 대상으로 변경할 지 결정하므로 발표내용에 따라 국내기업의 추가 피해가 예상되는 상황 이었으나, 이날 일본정부가 발표한 내용에 따르면 기존에 개별허가 대상이 된 고순도 불화수소와 포토레지스트 등 반도체·디스플레이 핵심 소재 3개 품목외에 추가 품목은 없는 것으로 알려졌다. 사진은 7일 오후 서울 강남구 삼성전자 서초사옥 딜라이트룸에 전시된 반도체 웨이퍼의 모습. © News1

삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되던 일본산 불화수소를 일부분 국산품으로 대체했다.

삼성전자 관계자는 3일 “일부 공정 제품에 대해서 일본산 대신 국내산을 투입했다”면서 “앞으로 점진적으로 확대해 나갈 것”이라며 이같이 밝혔다.

이어 관계자는 “(공정에 투입해)테스트를 해보니 대체가 가능해서 사용하고 있다”면서 “아직 상황을 지켜봐야해서 기존 거래선과도 관계를 유지하고 있다”고 말했다.

불화수소는 반도체 생산 공정에서 웨이퍼상에 회로를 새기거나(식각) 불순물을 화학적으로 떼어내는 세정에 사용된다.

삼성전자의 반도체 공정에 국산 불화수소가 일본산을 대체한 것은 지난 7월 일본 정부가 한국에 대해 불화수소를 비롯한 반도체 및 디스플레이 핵심소재 3종의 수출을 규제한 이후 약 두 달 만이다.

당초 국산화 테스트에는 최소 3개월에서 최장 6개월의 시간이 걸릴 것으로 예상돼 왔다.

한편, 업계에서는 반도체 공정 외에 불화수소가 사용되는 디스플레이 공정에서도 한 달 내에 국산화 테스트가 마무리 될 것으로 보고 있다.

(서울=뉴스1)