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米デュポン、韓国に「フォトレジスト」生産工場を建設

米デュポン、韓国に「フォトレジスト」生産工場を建設

Posted January. 10, 2020 08:55,   

Updated January. 10, 2020 08:55

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グローバル化学素材企業である米国のデュポン社が、忠南天安(チュンナム・チョンアン)に半導体製造に使われるフォトレジスト(感光液)工場を設立することにした。フォトレジストは、日本が輸出規制品目に決めた3つの重要素材の一つだ。9日、産業通商資源部は8日(現地時間)、米カリフォルニア州シリコンバレーでデュポンのジョン・ケンプ社長が韓国への投資を確定し、KOTRAに投資申告書を提出したと発表した。デュポンは来年まで325億ウォンをかけて天安に極紫外線(EUV)用フォトレジスト工場を建設して、研究開発(R&D)や生産に乗り出す予定だ。素材業界では、開発を完了して商用化するのに3〜5年はかかると見ている。

EUV用フォトレジストは、半導体の超微細工程のコア素材で、半導体ウェハー上に回路形状を描くときに使われる。日本の信越、JSRなどが世界市場の90%以上を占めている。2018年に韓国国内に輸入された3億2069万ドル(約3700億ウォン)のうち、日本製が93.2%を占めるほど対日依存度が高かった。輸出規制以降、国内メーカーは、ベルギーと日本の合弁会社を通じて迂回輸入したり、日本政府が制限的に許可する物量で耐えてきた。昨年12月、日本がフォトレジストに限って輸出許可を一部緩和したが、不十分だという評価が出た。デュポンが本格的に生産に出れば、三星(サムスン)とSKハイニックスなどの国内メーカーが供給先を多角化できるとみられる。


崔惠? herstory@donga.com